主要技(jì )术参数
公(gōng)司生产(chǎn)的石英加热器是電(diàn)子级硅材料行业的全球领先明星产(chǎn)品,其核心部件均為(wèi)公(gōng)司自主研发设计,设备操作(zuò)方便,故障率底,使用(yòng)寿命長(cháng)(平均3年以上),加热效率高,产(chǎn)品生产(chǎn)合格率高。核心加热部件采用(yòng)高纯石英材料,无任何金属體(tǐ)与加工(gōng)物(wù)料接触。确保在在高温加热下,无金属氧化物(wù)产(chǎn)生,避免对高纯硅芯造成金属氧化物(wù)污染。是高纯硅芯電(diàn)子经级材料加工(gōng)的理(lǐ)想设备。
与其它同类加热设备相比
一、卤素灯加热器,卤素灯灯管薄,加热部件本身结构缺陷,加热灯管在高温加热下产(chǎn)生应力,灯管易炸裂,灯管使用(yòng)率低,维修成本较高,容易造成安(ān)全隐患。生产(chǎn)过程中(zhōng),击穿力时间長(cháng),生产(chǎn)效率不高且采用(yòng)金属灯架,在高温加热下,产(chǎn)生金属氢化物(wù),污染。对高纯硅芯造成金属氧化物(wù)污染严重,造成产(chǎn)品合格率低。
二、激光置内加热器,因设备设计及加热原理(lǐ)缺陷,容易造成硅芯产(chǎn)品结构破坏,产(chǎn)品合格率低。设备使用(yòng)寿命短,维修率高。
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